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能量色散X射線分析與能譜分析的區(qū)別是什么?

更新時(shí)間:2022-02-22      點(diǎn)擊次數(shù):1227
  能量色散X射線分析主要由激發(fā)源(X射線管)和探測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。其原理就是:X射線管通過產(chǎn)生入射X射線(一次X射線),來激發(fā)被測(cè)樣品。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線(又叫X熒光),并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長(zhǎng)。然后,儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。
 
  元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線,因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。
 
  此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,據(jù)此,可以進(jìn)行元素定量分析。用X射線照射試樣時(shí),試樣可以被激發(fā)出各種波長(zhǎng)的熒光X射線,需要把混合的X射線按波長(zhǎng)(或能量)分開,分別測(cè)量不同波長(zhǎng)(或能量)的X射線的強(qiáng)度,以進(jìn)行定性和定量分析,為此使用的儀器叫X熒光光譜儀。
 
  能量色散X射線分析與能譜都能進(jìn)行元素定性定量分析,但是它們也有區(qū)別:
 
  1、測(cè)試環(huán)境不一樣,能譜是配在電鏡上的,所以只能在真空環(huán)境下測(cè)試,而XRF則真空和大氣條件都可以;
 
  2、激發(fā)源不一樣,能譜的激發(fā)源是電子束,X射線熒光自然是X射線,所以兩者的檢測(cè)深度不一樣,能譜一般只能檢測(cè)樣品表面,而XRF可以穿透樣品;
 
  3、對(duì)樣品的要求不同,能譜需要樣品導(dǎo)電,前處理要噴金噴碳;XRF無需任何處理;
 
  4、測(cè)量元素范圍不同,能譜可以測(cè)試Be~U,XRF能測(cè)到C~U;

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